ซัลเฟอร์เฮกซะฟลูออไรด์เป็นก๊าซที่ไม่เป็นพิษ เฉื่อย และไม่ติดไฟ ประกอบด้วยอะตอมของซัลเฟอร์ที่ล้อมรอบด้วยอะตอมฟลูออรีน 6 อะตอมและมีพันธะแน่นหนา ซัลเฟอร์เฮกซะฟลูออไรด์ (SF6) เป็นก๊าซฉนวนไฟฟ้าที่พบมากที่สุดในเทคโนโลยีไฟฟ้าแรงสูง เนื่องมาจากการเกาะติดอิเล็กตรอน (อิเล็กตรอนแอฟฟินิตี้) SF6 มีความหนาแน่นประมาณ 5 เท่าของอากาศในชั้นบรรยากาศที่ระดับน้ำทะเลปานกลาง และไม่มีสี กลิ่น หรือรส SF6 แทบจะละลายน้ำไม่ได้เลย และเช่นเดียวกับก๊าซอื่นๆ ความสามารถในการละลายจะลดลงเมื่ออุณหภูมิของน้ำเพิ่มขึ้น
ความดันก๊าซ SF6 ก๊าซ SF6 ถูกบรรจุอยู่ในระบบ GIS ที่ความดันระหว่าง 400 ถึง 600 kPa ความดันสัมบูรณ์นี้ถือว่าเหมาะสม เพื่อป้องกันไม่ให้ก๊าซควบแน่นเป็นของเหลวที่อุณหภูมิศักย์ต่ำสุดที่อุปกรณ์อาจต้องเผชิญ SF6 เป็นก๊าซที่ความเร็วการแพร่กระจายของเสียงน้อยกว่าในอากาศประมาณสามเท่า (ที่ความดันบรรยากาศ) ดังนั้น เสียงของการขัดจังหวะของอาร์คจะเงียบกว่าใน SF6 เมื่อเทียบกับในอากาศ
ก๊าซพิษสลายตัวจาก SF6HF - กรดไฮโดรฟลูออริก (HF) เป็นผลิตภัณฑ์สลายตัวที่เป็นพิษของ SF6 โดยทั่วไปเป็นก๊าซที่มีจุดเดือดประมาณ 19 องศา อาการของการได้รับสารจะล่าช้า เนื่องจากมีปฏิกิริยาสูง จึงไม่มีครึ่งชีวิตยาวนานSO2 - ซัลเฟอร์ไดออกไซด์ (SO2) ผลิตภัณฑ์สลายตัวที่เป็นพิษของ SF6 โดยทั่วไปเป็นก๊าซ (จุดเดือดประมาณ -10 องศา)SOF2 - ไทโอนิลฟลูออไรด์ (SOF2) ผลิตภัณฑ์สลายตัวที่เป็นพิษของ SF6 จะสลายตัวเมื่อเวลาผ่านไปในที่ที่มีความชื้นเป็น SO2 และ HF มันเป็นก๊าซไม่มีสีที่มีกลิ่นฉุน (คล้ายกับไข่เน่า) ควบแน่นที่ประมาณ -43 องศา
การรีไซเคิลก๊าซ เพื่อควบคุมการรั่วไหลของก๊าซจากระบบ GIS SF6 จะถูกบรรจุไว้ภายในกล่องที่ปิดสนิทอย่างสมบูรณ์ เพื่อให้สามารถรีไซเคิลและนำกลับมาใช้ได้อย่างสมบูรณ์ โดยการปฏิบัติตามแนวทางสากลปัจจุบันสำหรับการใช้ SF6 ในอุปกรณ์ไฟฟ้า สามารถลดปริมาณ SF6 ที่ส่งผลต่อภาวะโลกร้อนให้เหลือน้อยกว่า 0.1% ตลอดระยะเวลา 100- ปี เมื่อบุคลากรของ GIS ปฏิบัติตามแนวทางอย่างเคร่งครัด
การควบแน่นในรูปแบบของความชื้น ก๊าซ SF6 ในกล่องจะต้องแห้งเพียงพอเพื่อป้องกันไม่ให้ความชื้นควบแน่นบนพื้นผิวของฉนวนอีพอกซี เนื่องจากความชื้นบนพื้นผิวอาจทำให้เกิดการสลายตัวของฉนวนไฟฟ้าได้
จุดน้ำค้างของก๊าซการควบแน่นในรูปน้ำแข็งการควบแน่นในรูปน้ำแข็ง - เมื่อความชื้นควบแน่นในรูปน้ำแข็ง แรงดันไฟฟ้าพังทลายจะไม่ถูกกระทบ จุดน้ำค้างของก๊าซ - ดังนั้น จุดน้ำค้างของก๊าซจึงควรคงไว้ต่ำกว่าประมาณ -10 องศา นอกจากนี้ ระดับความชื้นที่ต่ำกว่า 1,000 ppmv มักจะได้รับการระบุไว้ และสามารถหาได้ง่ายเมื่อดำเนินการจัดการก๊าซอย่างระมัดระวัง
ความบริสุทธิ์ของก๊าซที่ต้องการโชคดีที่ความบริสุทธิ์ของ SF6 ต้องอยู่ที่มากกว่า 98% เท่านั้น ตามที่กำหนดโดยมาตรฐานสากล ดังนั้นการทดสอบภาคสนามอย่างง่าย ๆ เกี่ยวกับความบริสุทธิ์ของก๊าซโดยใช้เครื่องวัดเปอร์เซ็นต์ SF6 ที่มีจำหน่ายในเชิงพาณิชย์ก็จะทำให้ SF6 ที่ใช้แล้วมีคุณสมบัติในการนำกลับมาใช้ใหม่ได้